光觸媒體的制造方法和制造裝置
本發(fā)明的光觸媒體是具有由鈦和氧的化合物組成的光觸媒膜的光觸媒體，上述光觸媒膜呈多孔狀，其表面的算術(shù)平均光潔度Ra與其厚度的比值大于等于O．02。而且，利用氧化鈦的銳鈦礦結(jié)構(gòu)的x線衍射峰之間的強(qiáng)度比可以特定該光觸媒體。這種多孔狀光觸媒體材料是采用反應(yīng)性濺射，通過適當(dāng)調(diào)節(jié)成膜速度、濺射壓力、基板溫度、氧分壓等成膜參數(shù)而得到，具有良好的分解親水特性。
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